شیر گاز سبک یک اینچی با خلوص فوق‌العاده بالا برای کارخانه‌های نیمه‌رسانا و آزمایشگاه‌های آنالیز با سطوح الکتروپولیش شده و پایش ذرات

با مهندسی دقیق برای محیط‌های حساس به آلودگی، این شیر گاز سبک یک اینچی با کنترل ذرات، یکپارچگی را در سیستم‌های توزیع گاز حیاتی تضمین می‌کند. این شیر با فولاد ضد زنگ 316L-VAR وشیر گاز سبک یک اینچیبا پرداخت الکتروپولیش شده با Ra <0.5 میکرومتر، اینشیر گاز با خلوص بالااستانداردهای ذرات کلاس 1/ISO 2 را برای گازهای فرآیند نیمه‌هادی به دست می‌آورد. طراحی آب‌بند مخروطی خود تراز، تماس فلز با فلز را از بین می‌برد و از تولید ذرات در طول بیش از 100000 بار فعال‌سازی جلوگیری می‌کند. این شیر به عنوان یکشیر گاز آزمایشگاهیسناریوی کاربردی:نکات کلیدی:

✓
تأیید شده در کارخانه:0.1 میکرومتر در لیتر (طبق IEST RP CC001.6)<5 particles>✓
تأیید شده در کارخانه: نرخ نشت هلیوم 1x10⁻⁹ اتمسفر-سی‌سی/ثانیه✓
تأیید شده در کارخانه: غیرفعال‌سازی طبق روش اسید نیتریک ASTM A967✓
تأیید شده در کارخانه: طراحی ساقه ضد تشدید✓
تأیید شده در کارخانه: مطابق با SEMI F72شیر گاز آزمایشگاهیسناریوی کاربردی:

در یک اتاق تمیز نیمه‌هادی، تکنسین‌ها از شمارنده‌های ذرات برای تأیید عدم آلودگی در هنگام راه‌اندازی خط گاز ساخت تراشه 5 نانومتری استفاده می‌کنند.
سؤالات متداول:

س: چه گواهی ذراتی همراه با این شیر گاز با خلوص بالا ارائه می‌شود؟

پاسخ: گزارش‌های IEST-CC0016 کلاس 1 با داده‌های توزیع ذرات 0.1-5.0 میکرومتر.
س: آیا

شیرهای گاز آزمایشگاهیشما با مواد افزودنی سمی سازگار هستند؟پاسخ: بله، برای گازهای SEMI S2 دسته 1 با سازگاری کامل مواد طراحی شده‌اند.
س: آیا می‌توانم پایش ذرات را بدون وقفه در فرآیند ادغام کنم؟

پاسخ: بله، درگاه‌های نمونه‌برداری امکان تأیید درون‌موقعی مطابق با ISO 14644-1 را فراهم می‌کنند.
س: عملکرد گاززدایی چطور است؟

پاسخ:
<1x10⁻⁹ گرم بر سانتی‌متر مربع در ثانیه TML/CVCM طبق NASA-STD-6001B.س: آیا پروتکل‌های کنترل آلودگی نصب را ارائه می‌دهید؟

پاسخ: کیت‌های نصب دقیق مطابق با ISO 14644-5 در دسترس هستند.