دریچه های اندازه گیری شده با کنترل فوق العاده خالص برای سیستم های تمیز کردن قطعات الکترونیکی با ضد آلودگی

این شیر که به‌طور خاص برای سیستم‌های تمیز کردن قطعات الکترونیکی که نیمه‌رساناها و بردهای مدار را مدیریت می‌کنند، طراحی شده است، شیر اندازه‌گیری شده ما کنترل سیال تمیزکننده فوق‌العاده خالص را تضمین می‌کند و در عین حال از آلودگی جلوگیری می‌کند. این شیر دارای یک محفظه داخلی فوق‌العاده خالص با پرداخت Ra 0.05 میکرومتر و پوشش PFA است تا از ریزش ذرات (≤1 ذره/میلی‌لیتر، ≥0.5 میکرومتر) که می‌تواند به نیمه‌رساناهای حساس آسیب برساند، جلوگیری کند.

سازگار با آب DI (18.2MΩ*cm) و IPA، این شیر از مهر و موم‌های پرفلوئوروالاستومر استفاده می‌کند که استانداردهای تمیز کردن الکترونیکی SEMI F021 را برآورده می‌کنند. با کنترل دقیق جریان از 0.1 تا 10 میلی‌لیتر در دقیقه و تحمل خطای ±0.1٪، کاملاً با الزامات تمیز کردن میکرو قطعات سازگار است. طراحی ضد آلودگی شامل جریان حلقه بسته برای جلوگیری از تماس هوا با سیال تمیزکننده است و سطح خلوص بهینه را حفظ می‌کند.

• محفظه فوق‌العاده خالص (Ra 0.05 میکرومتر) با پوشش PFA، کنترل آلودگی ≤1 ذره/میلی‌لیتر را تضمین می‌کند.
• مهر و موم‌های پرفلوئوروالاستومر سازگار با آب DI/IPA، استانداردهای SEMI F021 را برآورده می‌کنند.
• کنترل دقیق جریان (0.1-10 میلی‌لیتر در دقیقه، خطای ±0.1٪) با قطعات میکرو الکترونیکی سازگار است.
• طراحی جریان حلقه بسته، خلوص سیال تمیزکننده را با اجتناب از تماس با هوا حفظ می‌کند.
• سازگار با دستگاه‌های تمیزکننده اولتراسونیک برای فرآیندهای خودکار